Baratron 뜻 - Baratron tteus

Presentation on theme: "MKS Baratron Gauge TMS Co. , Ltd 2014. 07. 18.."— Presentation transcript:

1 MKS Baratron Gauge TMS Co. , Ltd

2 Baratron GAUGE

3 Baratron GAUGE baratron기본 구조 Vacuum chamber
절대압게이지 Full scale 100Torr이하 제품은 전략물자로 구분됨. (차압게이지는 제외)

4 DMB Baratron e-Baratron i-BARATRON® Ethernet Enabled CAPACTIANCE
DIGITAL CAPACTIANCE MANOMETER Ethernet Enabled CAPACTIANCE MANOMETER Output Analog: 0~10VDC Digital: Ethernet Connector type 1. Devicenet + Analog output 2. Analog output (0~10VDC) 0.1~1000Torr Sensor 온도 1) 0~50℃ 2) 45 ℃ 3) 80 ℃ Warmup Time 2시간 : 1~1000Torr F.S 4시간 : < 1Torr F.S 627C 628C 0.1~1000Torr 45°C 0.1~1000Torr 100°C E27C E28C 0.1~100Torr 45°C 0.1~100Torr 100°C

5 Baratron GAUGE-600 높은 정확도의 절대압 게이지 ETCH CVD No Heating Terminal Block
RoHS No Heating Terminal Block Relay RoHS No Heating 15 Pin D Sub RoHS 622C 623B 626C 1000Torr제품경우 Trip Relay로 대기압센서대신 활용 가능 45도 Heating 15 Pin D Sub RoHS 100도 Heating 15 Pin D Sub RoHS 45도,100도 중 선택 9 Pin D Sub RoHS 45도 Heating Trip Relay 15 Pin D Sub RoHS 100도 Heating Trip Relay 15 Pin D Sub RoHS 627D 628D 629 624F 625F Etch process 45도 Heating 15 Pin D Sub RoHS Etch Process 100도 Heating 15 Pin D Sub RoHS Etch Process 45도,100도 중 선택 9 Pin D Sub RoHS 150도,200도 선택 Relay 선택 15 Pin D Sub RoHS E27D E28D E29D 631D ETCH CVD

6 Baratron GAUGE-700 소형, 저가형 절대압 게이지 No Heating 다양한 Fitting 0.5% of RDG
RoHS 45도 Heating 다양한 Fitting 100도 Heating 다양한 Fitting 722B 727A 728A Gauge Gas, Liquid 대기압이 reference임 1.4~204 bar RoHS Output: DC, 4~20mA 절대압게이지 Gas, Liquid 진공이 reference임 10Torr~3,000Psia 1% of RDG RoHS Output: DC, 4~20mA 740C 750C

7 Baratron GAUGE-Dual Range
낮은 압력대의 진공값을 더 정확하게 읽기 위한 게이지임. Dual Range 45도 Heating 15 Pin D Sub Relays RoHS Dual Range 100도 Heating 15 Pin D Sub Relays RoHS Dual Range 45도 히팅 15 Pin D Sub RoHS Dual Range 100도 히팅 15 Pin D Sub RoHS D24F D25F D27F D28F Full scale보다 낮은 진공압력을 2배, 5배,10배중 선택된 비율만큼 진공압력값을 display함. : 2개의 출력

8 Baratron Manometer 121A 221B -고온 환경하에서 150도환경에 사용 가능하도록 만든 절대압력
측정 Capacitance manometer Full Scale : 1~25,000 Torr Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC 221B 150도환경에 사용 가능하도록 만든 차압용 Capacitance manometer Full Scale : 10~25,000 Torr Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC

9 Baratron Manometer 220DA 220DD -Harsh Environments 내부를 45도 히팅하는
절대압용 Capacitance manometer -harsh Environments 내부를 45도 히팅하는 차압용 Capacitance manometer -harsh Environments Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.15%of RDG 1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA Resolution: 0.01% of F.S Accuracy: 0.15%of RDG 1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA

10 Baratron GAUGE-800 Micro-Baratron® Pressure Transducers GAS 공급시스템
TYPE 870B SINGLE ENDED Output: 0~5VDC, 0~10VDC, 4~20mA TYPE 872B FLOW-THROUGH 1000 Torr to 3000 psia

11 차압 GAUGE 226A 228A BARATRON® DIFFERENTIAL CAPACITANCE MANOMETER
차압 측정 영역 1000~0.2Torr F.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC or 4~20mA 2개의 Trip Relay F.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC

12 High Accuracy Baratron GAUGE
공정 및 계측 분야에 높은 정밀도가 요구시 Resolution 1×10-6 of F.S (<=0.12% of RDG) 120AA 590A 670B 절대압 게이지 45도히팅 0.1~25,000Torr 0~10VDC출력 절대압 게이지 70도 히팅 - 이물발생공정 0.1~25,000Torr 670B필요 120AD 고정밀도 차압게이지 0~10VDC출력 좌측 게이지와 같이 사용되는 Display Unit 698A 690A 차압 게이지 sensor 45도 히팅 0.1~1,000Torr 670B필요 절대압 게이지 sensor 45도 히팅 0.1~25,000Torr 670B필요

13 기타 Baratron GAUGE 230E 430E Explosion Proof GENERAL PURPOSE
PRESSURE TRANSMITTER Explosion Proof 1~1,000 Torr 100~500 psia 0~50℃ NEMA4 housing 출력: 4~20mA Pressure Transmitter 10~25,000 Torr 100℃ 환경에서도 동작 출력: 4~20mA

14 Vacuum/Atmospheric Switch
Pressure Switches F.S range: 10 Torr through 500 psi Precise control Superb set point accuracy and repeatability:0.5% of F.S. increases process control Fast response switching: 20 msec Excellent long term stability Model Type 41B Single-ended gauge Reference- ATM : atmospheric switching, Loadlock chamber 42B Flow-through gauge 51B Reference-Vacuum :soft pumping, gas box switching, and safety interlocks 52B

15 High Accuracy Gauge in High Vacuum
SRG-3 SPINNING ROTOR GAUGE SYSTEM 높은 정확도 장기간 안정성

16 Baratron GAUGE-적용 41B 750C 722,724, 728A 51B FOR Process , 기타 공정
대기압 Pressure Switch : 대기압확인용 10Torr~5×10^-4 722,724, 728A Vacuum chamber 10Torr~5×10^-3 TMP 51B Vacuum PUMP 진공 압력 Switch : softpumping,interlock용